테스, 기판처리장치 관련 특허 취득

[뉴스토마토 서유미기자] 테스(095610)가 트레이와 트레이를 구비한 기판처리장치 관련 특허를 취득했다고 28일 공시했다. 회사는 "기판의 이송시 위치가 이탈되는 것을 방지할 수 있다"고 설명했다.