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램테크놀러지, 초고순도 불화수소 생산을 위한 정제방법 및 장치 개발 특허 취득

2021-11-22 12:22

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[뉴스토마토 김연지 기자] 반도체 소재 국산화기업인 램테크놀러지가 지난 10월1일 고순도 불화수소 생산을 위한 정제방법 및 장치 개발 특허 취득한 것으로 22일 확인됐다.
 
이번 초고순도 불화수소 생산기술은 기존 방식의 문제점을 개선해 보다 높은 순도의 초고순도 불화수소를 정제하고, 이를 활용하여 반도체급 불산 제품을 생산하는 기술이 특징이다.
 
반도체 공정용 불산의 불순물은 반도체 공정에 영향을 미치므로 미량의 불순물까지 제거해야 되는 기술이 필요하다. 
 
램테크놀러지는 불화수소 정제를 통해 반도체용 불산 제품의 단일 금속 불순물의 농도를 1ppt(1ppt는 1조분의 1일) 이하로 목표를 잡고 있으며, 이러한 불화수소(HF)는 다양한 산업 분야에서 사용 될 것으로 예상된다.
 
램테크놀러지는 "초고순도 불화수소 생산법은 기존 생산법 대비 자동 제어 시스템 (APC 모듈)이 접목되어 있어 균일한 초고순도 불화수소를 생산할 수 있는 특징이 있다"며, "이는 품질 저하에서 오는 제품 불량을 최소화하여 제품 가격 경쟁력으로 이어질 수 있을 것"으로 기대했다.
 
또한 "현재 당진 신규공장 증설을 추진하고 있으며, 증설이 완료되면 국내 반도체 용 불산 생산 가속화와 국내 시장 점유율을 점차 높일 것"이라고 덧붙였다.
 
 
김연지 기자 softpaper610@etomato.com
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