로체시스템즈, 밀폐형 카세트 적재장치 특허 취득
입력 : 2013-07-05 13:24:21 수정 : 2013-07-05 13:27:13
[뉴스토마토 조필현기자] 로체시스템즈(071280)는 5일 밀폐형 카세트 적재장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
 
회사측은 "반도체 제조장치에 적용될 예정"이라고 설명했다.
 
 

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  • 조필현

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