주성엔지니어링, 플라즈마 특허권 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2009-10-12 17:08:20 ㅣ 2011-06-15 18:56:52 [뉴스토마토 박남숙기자] 주성엔지니어링(036930)은 12일 중국에서 플라즈마 식각장치 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사측은 "이번 발명은 대기압 근처에서 플라즈마를 발생시켜 기판 단부의 막질을 제거할 수 있는 플라즈마 식각 장치"라고 설명했다. 주성엔지니어링은 이 특허를 반도체와 디스플레이, 태양전지 장치 경쟁력 강화에 사용할 계획이라고 밝혔다. 뉴스토마토 박남숙 기자 joie@etomato.com - Copyrights ⓒ 뉴스토마토 (www.newstomato.co.kr) 무단 전재 및 재배포 금지 - ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 (종목Plus)하이닉스, M&A '충격' 일단락..이틀째 강세 (종목Plus)삼성테크윈, CCTV사업 일원화 기대..2%↑ (종목Plus)하이닉스, 4분기에도 실적 개선..이틀째 강세 (종목Plus)하이닉스, 반도체 가격 상승..3%↑ 박남숙 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스