참엔지니어링, 플라즈마 처리 관련 특허 취득

2013-01-09 14:06:13 ㅣ 2013-01-09 14:08:21

[뉴스토마토 송주연기자] 참엔지니어링(009310)은 9일 기판 공정시 생산시간과 비용을 줄일 수 있는 플라즈마 처리 장치 및 처리 방법에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

이번 특허는 미국특허로, 참엔지니어링은 이번 특허기술을 활용해 반도체생산 관련 장비의 경쟁력을 강화할 계획이라고 밝혔다.