테스, 반도체 제조장치 특허 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2010-10-05 14:25:17 ㅣ 2011-06-15 18:56:52 [뉴스토마토 한형주기자] 테스(095610)는 반도체 제조장치 특허를 취득했다고 5일 공시했다. 테스 관계자는 "이 특허로 공정 가스의 불안정한 기류 발생을 방지하고 열 손실을 막으며, 기판 상에 증착되는 박막의 균일성을 향상시킬 수 있다"고 밝혔다. 그는 "장비 제조시 특허기술을 적용할 경우 기술력과 원가경쟁력을 강화할 수 있다"고 덧붙였다. 뉴스토마토 한형주 기자 han9906@etomato.com - Copyrights ⓒ 뉴스토마토 (www.newstomato.co.kr) 무단 전재 및 재배포 금지 - ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 테스, 플라즈마 처리장치 특허 취득 테스, 하이닉스에 98억 반도체 제조장비 공급 테스, 하이닉스에 15억 규모 반도체장비 공급 테스, 하이닉스에 18억 규모 반도체 제조장비 공급 한형주 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스