[뉴스토마토 김세연기자] 액정표시장치(LCD) 공정 드라이에치(Dry Etch)와 화학증착장비(CVD) 핵심부품 제조업체
위지트(036090)는 30일 효과적인 히터 삽입과 알루미늄 고진공 브레이징이 이루어 질 수 있는 형상 기술에 관한 특허를 취득했다고 밝혔다.
취득한 특허는 에칭 챔버에서 플라즈마를 가두기 위한 환형 배플(baffle) 제조방법에 관한 것으로, 전량 수입에 의존하던 제품을 국산화할 수 있는 기술이다.
반도체와 LCD 장비 부품은 온도를 균일하게 유지시키기 위하여 히터가 삽입되는 제품이 다수 있으며, 이번 특허 기술을 이용하면 균일한 온도 제어가 가능해 우수한 열 전달과 손실 최소화를 구현할 수 있다.
또, 알루미늄 고진공 브레이징(brazing) 기술은 널리 상용화 되지 않은 진보된 집합 방법 기술을 확보할 수 있게 돼 기존 대비 우수한 품질의 제품을 개발할 수 있게 됐다.
위지트는 이번 특허 기술 확보를 통해 해당 제품만이 아닌 유사 제품 혹은 타 제품에 적용해 우수한 품질의 차별화된 제품을 생산한다는 계획이다.
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