국내연구진, 실리콘 소재 라이다센서 개발

[뉴스토마토 이지은 기자] 국내연구진이 실리콘 소재 라이다센서를 개발했다. 

 

한국연구재단은 안종현 교수(연세대학교) 연구팀과 이재동 교수(대구경북과학기술원) 연구팀이 자율주행자동차의 핵심기술 중 하나인 장애물 감지용 라이다 센서 기술을 개발했다고 30일 밝혔다.

 

자율주행자동차용 실리콘 기반 라이다 센서. 사진/한국연구재단

 

우리 눈에 해를 끼치지 않는 단파 적외선을 이용해 자동차 주변의 장애물을 감지할 수 있는 라이다 센서는 자율주행자동차 개발의 중요한 이슈다. 

 

연구팀은 10나노미터(nm) 이하로 초박막 실리콘을 제작하고 변형 제어 기술을 통해 실리콘의 전자구조를 변화시켜 단파 적외선을 감지할 수 있는 광센서를 개발했다.

 

실리콘 반도체의 전자구조를 변형시키기 위해서는 높은 변형을 가해야만 가능하다. 하지만 실리콘은 단단해 부서지기 쉬워 변형을 가할 수 없다. 이러한 문제를 극복하기 위해 기존 실리콘 웨이퍼를 식각공정을 통해 10nm 이하의 초박막 상태로 만들어 높은 변형 하에서도 부서지지 않도록 유지시켜 단파 적외선을 감지할 수 있는 실리콘 광센서를 제작했다.

 

제작된 실리콘 광센서는 자율주행자동차와 다양한 보안장치에 응용될 수 있을 것으로 기대된다. 

 

한편 과학기술정보통신부와 한국연구재단이 추진하는 리더연구지원 사업의 지원으로 수행된 이번 연구 성과는 국제학술지 사이언스 어드밴시스에 이날 게재됐다. 

 

이지은 기자 [e-mail]